机械真空泵可分为往复式（或称活塞式）真空泵、机械增压泵和油封机械真空泵等。往复式真空泵常用于真空蒸馏、真空蒸发、真空浓缩和真空干燥等工艺。这种泵的极限压强到1.3kPa，最大抽速为每小时770立方米。机械增压泵在1.3×10-3 kPa真空下有圈套的抽速，双级式的极限真空可达1.4×10-7 kPa。

油封机械真空泵是使用最多的一种，它有单级、双级式，但性能较差，目前有润滑阀式真空泵，用于大型真空设备的排气方面，应用较广，单级泵极限真空可达1.3×10-4kPa，最大抽速为1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用最广、生产品种最全的泵，常用于真空冶炼、真空干燥、真空处理、电子器件排气等，也可以作为高真空的前级泵，极限真空1.3×10 -4～1.3×10-5kPa。

机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：

（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量极少，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。

（2）合适的粘度和良好的粘温特性：真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。

（3）良好的热氧化安定性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解。而扩散泵往往处于很高的环境温度（可达200℃）下工作，使系统内蒸汽压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。

（4）良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。另外，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性（水分离性能）。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。

（5）较高的闪点：主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸汽压。

（6）较低的极限压力：极限压力是真空泵油重要的使用性能指标，以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。